CLEANROOM EQUIPMENT
用于物料由非潔凈區(qū)進入潔凈區(qū),或由低級別潔凈區(qū)進入高級別潔凈區(qū)時的表面凈化,可有效去除物料表面的灰塵,防止灰塵被物料攜入快裝模塊化潔凈室。氣流經(jīng)初、高效兩級過濾器過濾,傳遞窗內(nèi)潔凈度可達100級。
風(fēng)/貨淋室是人/貨物進出快裝模塊化潔凈室常用的一種凈化裝置。它可以有效的吹除人/貨物表面的塵埃粒子,防止人/貨物將塵源帶入潔凈區(qū);同時在潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間起到氣閘室的作用,保持快裝模塊化潔凈室內(nèi)氣壓穩(wěn)定。
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